金融界2024年11月23日音訊，國家知識產權局信息數據顯現，江蘇亞電科技股份有限公司獲得一項名為“一種單片晶圓清洗設備一體化晶圓支撐位置”的專利，授權公告號CN 222029064 U，請求日期為2023年12月。

  專利摘要顯現，本請求觸及一種單片晶圓清洗設備一體化晶圓支撐位置，需求將晶圓轉入盤面上時，所述支撐柱旋轉，使卡緊柱遠離盤面的中心，機械手可以將晶圓放入支撐座上，之后，需求卡緊時，所述支撐柱旋轉使卡緊柱接近盤面的中心，晶圓的側邊際抵住卡緊柱的內凹面，從而將晶圓卡住固定。本施行例中，將傳統的水平頂桿和夾取位置合二為一，削減一套機械結構，使得設備和調整更方便快捷。